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產(chǎn)品展示NEWS CENTER

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產(chǎn)品展示

首頁(yè)-產(chǎn)品展示-工業(yè)及半導體檢測解決方案-晶圓缺陷光學(xué)檢測-AWL系列半導體晶圓缺陷檢測/國產(chǎn)晶圓搬運機

半導體晶圓缺陷檢測/國產(chǎn)晶圓搬運機

產(chǎn)品型號:AWL系列

簡(jiǎn)要描述:SOPTOP AWL 系列半導體晶圓缺陷檢測/國產(chǎn)晶圓搬運機是由高精度光學(xué)檢測顯微鏡搭載全自動(dòng)晶圓搬運系統組成,支持4-12寸的晶圓尺寸,可輕松實(shí)現多角度、全視野的宏觀(guān)檢查、以及晶圓微觀(guān)細節的高清捕捉,可對半導體過(guò)程工藝中的關(guān)鍵參數、缺陷問(wèn)題進(jìn)行有效監控,是晶圓來(lái)料檢測和工藝控制流程缺陷分析的高效利器。

  • 企業(yè)實(shí)力

    Enterprise Strength
  • 有效保修

    Valid Warranty
  • 質(zhì)量保障

    Quality Assurance

詳細介紹

品牌SOPTOP/舜宇

AWL系列半導體晶圓缺陷檢測/國產(chǎn)晶圓搬運機,兼具穩定性和安全性,能夠安全可靠的傳送晶圓,適合于前道到后道工程的晶圓檢查

一個(gè)晶圓在經(jīng)過(guò)一系列復雜工序后最終變成多個(gè)IC單元,期間晶圓需要依賴(lài)搬運機在處理站之間執行快速、精確的傳送作業(yè)。納米級厚度的晶圓很容易在傳送過(guò)程中損壞,而且還須確保在工序中晶圓表面不得有臟污、缺陷等。

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SOPTOP擁有AWL046、AWL068、AWL812三種機型,多類(lèi)配置,分別可適用于 4/6 英寸,6/8英寸、8/12英寸的晶圓檢測,適應范圍廣、搭配靈活 。

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AWL系列半導體晶圓缺陷檢測/國產(chǎn)晶圓搬運機可自由設置的檢查模式,充分符合人機工程學(xué)設計,操作舒適、簡(jiǎn)便。

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360°宏觀(guān)檢查


AWL系列具有宏觀(guān)檢查手臂,可以實(shí)現晶面宏觀(guān)檢查、晶背宏觀(guān)檢查 1 360°旋轉,更為容易發(fā)現傷痕和微塵。通過(guò)操作桿可隨意將晶圓傾斜觀(guān)察。晶面最大傾斜角度70°,晶背 1 最大傾斜角度 90°,晶背 2最大傾斜角度 160°,利用旋轉功能、傾斜角度,可以目視檢查整個(gè)晶圓正反面及邊緣。

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人機工程學(xué)設計


LCD 顯示屏,可為操作者提供更直觀(guān)的視覺(jué)體驗,可清晰的顯示當前檢查項目及次序,調試參數一目了然。手動(dòng)快速釋放真空載物臺可提高操作者的舒適度和工作效率。

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精密微觀(guān)檢查


采用專(zhuān)業(yè)半復消色差金相物鏡,可滿(mǎn)足明場(chǎng)、暗場(chǎng)、DIC、偏光等多種觀(guān)察方式。全新電動(dòng)控制系統,可排查 μm 級異常,諸如孔未開(kāi)出,短路,斷路,沾污,氣泡,殘留等。

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AWL 應用領(lǐng)域

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